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Digital Measuring System

Facility/equipment: Equipment

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    コラボレーションセンター 1階 101号室

    Japan

Equipments Details

Description

三次元表面形状をスタイラスにより測定し,さまざまなパラメータにより表面特性を解析する.
最大測定領域: 1mm x 1mm
垂直分解能: 0.1um