Equipments Details
Description
電子線に感光する樹脂薄膜にナノメートルからマイクロメートルのパターンを描画する装置です。
電子デバイス、光学デバイス、集積回路などの試作品の開発や、半導体チップの原盤となるマスクの作製に用いられます。
仕様 加速電圧: 50kV,30kV,20kV 最小電子ビーム径: 2nm (於 50kV) 描画最小線幅: 10nm (於 50kV) 描画フィールドサイズ: 最大 1.5x1.5mm(3x3mm 於 20kV) 最小 100μm x 100μm 最大試料サイズ: 4インチφウエハーおよび□4インチマスク 特色 ・静電型のビーム偏向器を改良し、1mm□の大面積フィールドに於いても、低歪みで均一な露光が可能。 ・高精度リニアエンコーダを搭載し、ステージ位置とビーム位置へのフィードバックにより、つなぎ精度100nm(3σ)以下を実現。 ・オート機能の充実により、ビーム調整や描画スタート時の煩わしい操作を大幅に簡略化
電子デバイス、光学デバイス、集積回路などの試作品の開発や、半導体チップの原盤となるマスクの作製に用いられます。
仕様 加速電圧: 50kV,30kV,20kV 最小電子ビーム径: 2nm (於 50kV) 描画最小線幅: 10nm (於 50kV) 描画フィールドサイズ: 最大 1.5x1.5mm(3x3mm 於 20kV) 最小 100μm x 100μm 最大試料サイズ: 4インチφウエハーおよび□4インチマスク 特色 ・静電型のビーム偏向器を改良し、1mm□の大面積フィールドに於いても、低歪みで均一な露光が可能。 ・高精度リニアエンコーダを搭載し、ステージ位置とビーム位置へのフィードバックにより、つなぎ精度100nm(3σ)以下を実現。 ・オート機能の充実により、ビーム調整や描画スタート時の煩わしい操作を大幅に簡略化
Fingerprint
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Research output
- 5 Article
-
Semiconductor–metal transition in Bi2Se3 caused by impurity doping
Uchiyama, T., Goto, H., Uesugi, E., Takai, A., Zhi, L., Miura, A., Hamao, S., Eguchi, R., Ota, H., Sugimoto, K., Fujiwara, A., Matsui, F., Kimura, K., Hayashi, K., Ueno, T., Kobayashi, K., Akimitsu, J. & Kubozono, Y., Dec 2023, In: Scientific reports. 13, 1, 537.Research output: Contribution to journal › Article › peer-review
Open Access9 Link opens in a new tab Citations (Scopus) -
Surface Diffusion-Limited Growth of Large and High-Quality Monolayer Transition Metal Dichalcogenides in Confined Space of Microreactor
Suzuki, H., Hashimoto, R., Misawa, M., Liu, Y., Kishibuchi, M., Ishimura, K., Tsuruta, K., Miyata, Y. & Hayashi, Y., Jul 26 2022, In: ACS Nano. 16, 7, p. 11360-11373 14 p.Research output: Contribution to journal › Article › peer-review
26 Link opens in a new tab Citations (Scopus) -
Band Engineering of Bilayer Graphene through Combination of Direct Electron Transfer and Electrostatic Gating
Zhi, L., Goto, H., Takai, A., Miura, A., Hamao, S., Eguchi, R., Nishikawa, T., Tokito, S. & Kubozono, Y., Oct 29 2020, In: Journal of Physical Chemistry C. 124, 43, p. 24001-24008 8 p.Research output: Contribution to journal › Article › peer-review
1 Link opens in a new tab Citation (Scopus) -
Super-chiral vibrational spectroscopy with metasurfaces for high-sensitive identification of alanine enantiomers
Iida, T., Ishikawa, A., Tanaka, T., Muranaka, A., Uchiyama, M., Hayashi, Y. & Tsuruta, K., Sept 8 2020, In: Applied Physics Letters. 117, 10, 101103.Research output: Contribution to journal › Article › peer-review
32 Link opens in a new tab Citations (Scopus) -
Whitish daytime radiative cooling using diffuse reflection of non-resonant silica nanoshells
Suichi, T., Ishikawa, A., Tanaka, T., Hayashi, Y. & Tsuruta, K., Dec 1 2020, In: Scientific reports. 10, 1, 6486.Research output: Contribution to journal › Article › peer-review
Open Access18 Link opens in a new tab Citations (Scopus)