Electron Probe Microanalyzer

本装置は、集束された電子ビームを固体試料の表面に照射し、発生する特性X線を分光結晶により回折して、その波長と強度を測定することによって、非破壊で試料に含まれる元素の定性、定量分析を行うものである。Keyword: 化学,固体,元素,分析,電子,X線
1) 波長分散型X線分光器4基とエネルギー分散型X線検出器を装備し、それぞれの 長所を活かした利用の仕方ができ、且つ両者のデータを同時に処理できる。
2) 電子銃にWフィラメントとLaB6フィラメントが使用できる。
3) 薄片試料の透過光観察が可能な透過照明装置を装備している。