Etching Equipment

Hidenori Goto (Manager)

Advanced Science Research Center

Facility/equipment: Equipment

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コラボレーションセンター 2階 206号室
Japan

Description

酸素ガスを用いたエッチング法により、半導体などのナノデバイス・マイクロデバイスを微細加工する装置。
物理、化学、工学、材料、無機、固体、イオン
na

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Name	Hidenori Goto
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Emails	setsubi_COR(at)okayama-u.ac.jp
Links	Website

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