年別の研究成果
年別の研究成果
設備の詳細
微細加工等のプロセスが施された表面や物体表面の三次元形状を走査型白色光干渉技術により0.1ナノメートルの垂直分解能で高速測定し、測定面の性状を多彩なパラメータにより定量的に解析評価するとともに、その結果を高解像度でカラーグラフィクス表示する。
測定原理: 走査型白色干渉法
垂直分解能: 0.1nm
垂直測定範囲: 150μm
観察視野: 0.04x0.03mm ~ 14.14x10.6mm
CCD画素: 640x480 (Max)
測定原理: 走査型白色干渉法
垂直分解能: 0.1nm
垂直測定範囲: 150μm
観察視野: 0.04x0.03mm ~ 14.14x10.6mm
CCD画素: 640x480 (Max)
詳細
| 名前 | Newview 7300 |
|---|---|
| 取得日 | 4/1/09 |
フィンガープリント
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研究成果
- 5 Article
-
Self-organized vertical multilayer structures in spinodally decomposed TiO2-VO2 films on glass substrates
Muraoka, Y., Takeda, K., Takemoto, Y., Wakita, T. & Yokoya, T., 3月 31 2023, In: Thin Solid Films. 769, 139749.研究成果 › 査読
3 被引用数 (Scopus) -
Mechanical strength and millimeter-wave transmittance spectrum of stacked sapphire plates bonded by sodium silicate solution
Toda, T., Sakurai, Y., Ishino, H., Matsumura, T., Komatsu, K. & Katayama, N., 1月 1 2022, In: Journal of Astronomical Telescopes, Instruments, and Systems. 8, 1, 014008.研究成果 › 査読
Open Access1 被引用数 (Scopus) -
Formation of Q-carbon by adjusting sp3 content in diamond-like carbon films and laser energy density of pulsed laser annealing
Yoshinaka, H., Inubushi, S., Wakita, T., Yokoya, T. & Muraoka, Y., 10月 15 2020, In: Carbon. 167, p. 504-511 8 p.研究成果 › 査読
31 被引用数 (Scopus) -
Magnetic-field-induced insulator–metal transition in W-doped VO2 at 500 T
Matsuda, Y. H., Nakamura, D., Ikeda, A., Takeyama, S., Suga, Y., Nakahara, H. & Muraoka, Y., 12月 1 2020, In: Nature communications. 11, 1, 3591.研究成果 › 査読
Open Access56 被引用数 (Scopus) -
Strain effects on spinodal decomposition in TiO2–VO2films on TiO2(100) substrates
Muraoka, Y., Yoshii, F., Fukuda, T., Manabe, Y., Yasuno, M., Takemoto, Y., Terashima, K., Wakita, T. & Yokoya, T., 3月 31 2020, In: Thin Solid Films. 698, 137854.研究成果 › 査読
6 被引用数 (Scopus)