エッチング装置

自然生命科学研究支援センター

施設/設備

設備の詳細

酸素ガスを用いたエッチング法により、半導体などのナノデバイス・マイクロデバイスを微細加工する装置。
物理、化学、工学、材料、無機、固体、イオン
na

連絡先情報

名前Hidenori Goto
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電子メールsetsubi_COR(at)okayama-u.ac.jp
リンクWebsite

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